Haku
fiMikä Safiiri Wafer todella on
Safiirikiekko on yksikiteistä alumiinioksidia oleva ohut kiekko, joka on suunnattu kristallografiseen tasoon ja joka on poistettu kasvatetusta petanteesta, viipaloitu, kiillotettu ja kiillotettu valvottuun paksuuteen, tasaisuuteen ja pinnan viimeistelyyn.
Safiiri ei ole lasia eikä pinnoitetta. Se on kiteistä Al2O3:a, korundin materiaalia, minkä vuoksi valmiissa kiekossa yhdistyy Mohs 9 -kovuus, kaistaväli lähellä 8,6 eV ja hyödyllinen läpäisy noin 0,19 - 5,5 mikrometriä.
Suunta on ensimmäinen päätös minkä tahansa piirustuksen suhteen, koska se määrittää mitä pinnalle voidaan kasvattaa ja kuinka kiekko käyttäytyy lämpökuormituksen alaisena.
- c-plane (0001): oletusarvo GaN LED- ja microLED-epitaksille, jossa kuusikulmainen pinta vastaa epitaksia.
- r-taso: käytetään pii-safiiriin, jossa ohut piikalvo kerrostetaan heteroepitaksiaalisesti.
- a-taso ja m-taso: ei-polaariset tutkimussuuntaukset, saatavilla, mutta vaikeampi kiillottaa samaan karheuteen.
- Offcut: 0,2 astetta kohti a-akselia on yleinen MOCVD-pyyntö, kun taas 4 astetta näkyy tietyssä laitetyössä. Pidä toleranssi tiukasti kiinni, koska irrotettu drift muuttaa askelrakennetta kasvun aikana.
Halkaisija ja paksuus kulkevat yhdessä. Yleiset koot ovat 50,8 mm, 100 mm, 150 mm ja 200 mm, ja paksuus nousee noin 430 mikrometristä 2 tuumalla 650 mikrometriin 4 tuumalla ja yli 1 mm 6 tuumalla, yksinkertaisesti siksi, että ohut hauras kidelevy ei kestä rutiinikäsittelyä.
Safiirikiekkoja yhteisillä halkaisijalla ja paksuudella Tarkastele yksikiteisiä safiirikiekkoja 2–8 tuumaa optoelektronisten ja LED-alustojen paksuus-, pinta- ja tasaisuusvaatimukset. Näytä tuote → Boulesta Epi-Ready Waferiin
Sapphire-kiekot valmistetaan kuudessa vaiheessa, ja jokainen vaihe jättää sormenjäljen erän mukana toimitettavaan sertifikaattiin.
Tekniset tiedot, jotka määräävät tuoton
Neljä numeroa ratkaisee useimmat hyväksymispäätökset: kokonaispaksuuden vaihtelu, keula ja loimi, etupuolen karheus ja suuntatoleranssi. Kaikki muu piirustuksessa tukee näitä neljää.
| Parametri | Epi- ja LED-laatu | Optinen laatu | Todisteita pyydettäväksi |
| Suuntautuminen ja leikkaus | c-taso 0,2 asteen leikkauksella | c-taso tai piirustus | Röntgendiffraktioskannaus |
| Halkaisija | 100 mm plus/miinus 0,2 mm | Piirustuksen mukaan | Reunasirun kartta |
| Paksuus | 650 mikrometriä plus tai miinus 25 | 1 mm - 5 mm | Paksuus map across the wafer |
| Kokonaispaksuuden vaihtelu | 10 mikrometriä tai vähemmän | 2 mikrometriä aukon yli | Anturin tyyppi ja skannausalue |
| Jousi ja loimi | 25 mikrometriä tai vähemmän | Neljännesaallon tasaisuus | Kiinnitys- ja tukimenetelmä |
| Etupuolen karheus | Ra 0,2 nm, epi-valmis | Ra 1 nm tai parempi | AFM-skannauskoko |
| Takapuolen viimeistely | Syövytetty tai kiillotettu | Hieno maaperä | Valmistus todistuksessa |
| Reunaprofiili | Pyöreä maa, jossa viiste ja lovi | Kiillotettu reuna | Lovisuuntainen kuva |
Safiiri, pii ja kvartsi vierekkäin
Safiiri on substraatti, joka valitaan, kun kiekon on kestettävä lämpöä, kemiaa tai valoa, ei silloin, kun sen on johdettava sähköä.
- Yli 1000 C:n kasvulämpötilat sulkevat pois polymeerikantajat ja heikkolaatuiset lasit.
- Pinnan tulee pysyä läpinäkyvänä näkyvästä keski-infrapunaan.
- Kemiallinen kestävyys ja naarmuuntumiskestävyys merkitsevät enemmän kuin neliösenttihinta.
- Laite tarvitsee eristävän, pienihäviöisen substraatin radiotaajuudella.
- Itse kiekon täytyy kuljettaa virtaa, missä pii on yksinkertaisempaa ja paljon halvempaa.
- Tarvitaan syvä ultraviolettiläpäisy alle 190 nm:ssä, missä safiiri absorboi.
- Lämmön leviäminen on rajoittava tekijä suuritehoisessa ryhmässä.
- Budjetti ei voi imeä alustaa, joka on hinnoiteltu useita kertoja halkaisijaltaan saman piikiekon yläpuolelle.
Lämpöluku on se, joka yllättää suunnittelutiimit. Sapphire johtaa lämpöä noin neljä kertaa huonommin kuin pii ja noin kaksikymmentäviisi kertaa paremmin kuin sulatettu kvartsi, joka on toimiva yhdelle pienitehoiselle emitterille ja tuskallinen tiheälle suuritehoiselle ryhmälle. Tämä yksi ominaisuus herättää suuren osan kiinnostuksesta kuvioituja substraatteja, ohutkalvonsiirtoa ja kiekkojen sidontaa kohtaan.
Kvartsikiekot optisiin ja puolijohdesovelluksiin Vertaa erittäin puhtaita kvartsikiekkoja, joilla on alhainen lämpölaajeneminen ja UV-NIR-läpinäkyvyys aaltoputki-, MEMS-, puolijohde- ja optisten komponenttien käyttöön. Näytä tuote → Missä safiirikiekot ansaitsevat hintansa
Sapphire-substraatit maksavat itsensä takaisin neljässä sovellusperheessä, joista jokaisella on erilainen hallitseva spesifikaatio.
GaN LED ja microLED epitaksi
2–6 tuuman c-plane-kiekot kantavat valoa lähettävän pinon. Leikkauksen ohjaus ja etupuolen karheus vaikuttavat kiteen laatuun ja siten ulkoiseen kvanttitehokkuuteen enemmän kuin mikään muu saapuva parametri.
Radiotaajuus ja pii-safiiri
Eristävä substraatti leikkaa loiskapasitanssia kytkimissä ja suodattimissa. Tässä piirrosta hallitsee paksuuden tasaisuus ja pinnan tasaisuus optisen läpäisyn sijaan.
Optiset ikkunat ja anturisuojukset
Sapphire siirtyy näkyvästä noin 5,5 mikrometriin ja kestää naarmuuntumista hankaavissa ympäristöissä, joten se näkyy infrapunaikkunoissa, LiDAR-kuorissa ja karkaistuissa kameraporteissa. Elektroniikan ja optiikan safiirikiekkojen sovellusvalikoima ulottuu paljon valaistusta pidemmälle.
Kanto- ja nukkekiekot
Korkean lämpötilan prosesseissa käytetään uudelleen safiirikantoaineita, koska materiaali ei pehmene tai poistu kaasusta. Uudelleenkiillotus pidentää käyttöikää siellä, missä kontaminaatiosäännöt sen sallivat.
Sapphire-optiset ikkunat suojaavaan ja suodatuskäyttöön Katso safiiri-ikkunasubstraatit, jotka tarjoavat naarmuuntumisenkestävyyden, korkean läpinäkyvyyden ja aallonpituussuodatuksen lasereille, valodiodeille ja kuituoptisille viestintäjärjestelmille. Näytä tuote → Mitä tulee tarkistaa ennen tilaamista
Viisi tarkistusta havaitsevat suurimman osan ongelmista ennen kuin paljon saapuu saapuvaan tarkastuspenkkiisi.
Jos määrittely on epäselvä, ratkaise se piirustusvaiheessa. Lähetä piirustus ja määrä suunnittelutiimiimme, ja suunta, viimeistely ja tarkastusmenetelmä voidaan korjata ennen tarjousta eikä toimituksen jälkeen.
Usein kysytyt kysymykset
Onko safiirikiekko sama asia kuin safiiri-ikkuna?
Ei, painotus vaihtelee. Kiekko arvioidaan kokonaispaksuuden vaihtelun, hiukkasten puhtauden ja epitaksivalmiuden etupinnan perusteella, kun taas ikkuna arvioidaan läpäisyn, pinnan laadun määritellyllä aukolla ja reunan viimeistelyn perusteella. Molemmat voidaan leikata samasta boulesta.
Voidaanko safiirikiekkoja käyttää uudelleen?
Kanto- ja nukkekiekot voidaan kiillottaa useita kertoja, kun kontaminaatiota valvotaan. Epi-ready kiekot eivät yleensä voi, koska kiillotettu pinta ja tasaisuus kuluvat ensimmäiseen kasvuun.
Mikä paksuus kannattaa tilata?
Seuraa halkaisijaa. Noin 430 mikrometriä 2 tuumalla, 650 mikrometriä 4 tuumalla ja 1 mm tai enemmän 6 tuumalla ovat yleisiä lähtökohtia. Ohuemmat kiekot vähentävät lämpömassaa, mutta lisäävät murtumisriskiä käsittelyn ja kuljetuksen aikana.
Tarvitsenko leikkauksen?
MOCVD:llä c-tasolla kasvatetulle GaN:lle pieni leikkaus lähellä 0,2 astetta on tyypillistä. Jos prosessisi ei ole herkkä askelrakenteelle, nimellinen akselikiekko on helpompi hankkia ja yleensä halvempi.
苏公网安备 32041102000130 号